半導體設備作為小批量、多品種、工藝復雜和精密度高的高端制造設備，其內部所用的精密零部件同樣繼承了這些屬性。隨著AI芯片需求繼續(xù)市場，半導體產業(yè)對晶圓廠設備的投資仍在加大。根據SEMI統(tǒng)計，去年全球半導體設備銷售額同比增長10%，中國地區(qū)更是暴漲35%。機構預計2025年全球總投資規(guī)模會突破新高，半導體設備的精密零部件也隨之沾光。

全球半導體設備行業(yè)銷售額地區(qū)分布 / SEMI

根據弗若斯特沙利文報告，預計2025年半導體精密零部件行業(yè)的全球市場規(guī)模約為4288億元，其中，得益于供應鏈本土化進程的加速，中國市場的增速顯著高于全球市場水平，預計2025年中國半導體設備精密零部件市場規(guī)模約為人民幣1384億元。 

由此看來，應該有不少半導體精密零部件企業(yè)吃到了這一波紅利，但令不少精密制造企業(yè)遲疑的點在于，他們現(xiàn)在沖進這一市場，還能吃下多少訂單？

01      精密制造企業(yè)   進軍半導體設備市場的契機到了嗎？  

過去，精密制造企業(yè)對于半導體零部件市場多持謹慎觀望的態(tài)度，因為其比半導體設備市場更加碎片化，技術門檻還高。此前，有半導體零部件業(yè)務的精密制造企業(yè)，往往專注于某一細分工藝或產品，可也只能收獲較小的市場，所以資本投入動力不足。

可隨著半導體制造投入的資本熱情持續(xù)高漲，一些廠商訂單爆滿的消息很快就傳到了這些精密制造企業(yè)家們的耳朵里。相比起供需關系惡化、競爭廠商已經卷到天際的消費電子和新能源汽車市場，半導體設備廠商看起來是一群相當優(yōu)質的客戶。

要知道，雖然半導體設備廠商對其所選用的精密零部件要求極為苛刻，可一旦確定合作關系，往往會長期深度綁定；且一旦被全球主流設備參加認證，行業(yè)內的其他廠商也會聞訊前來開展合作，所以對于半導體零部件企業(yè)而言，他們拼的不只是加工實力，還有客戶資源。空談無用，讓我們看看一些早已進軍半導體零部件制造的上市企業(yè)表現(xiàn)如何。

富創(chuàng)精密：國內重點客戶營收同比增長超80%，扣非凈利潤增長98.61%

  機械類半導體零部件 / 富創(chuàng)精密  

作為國內半導體，其已經進入國際知名半導體龍頭設備商的供應鏈中，同時也贏得了國內主流半導體設備廠商客戶。相比起行業(yè)內大多數企業(yè)只專注于特定零部件的制造，富創(chuàng)精密已經可以完成多種半導體設備精密零部件的生產制造。根據其2024年度業(yè)績快報所示，其2024年總營收達30.42億元，同比增長47.24%，國內重點客戶營收同比增長超80%；扣非凈利潤1.72億元，同比增長 98.61%。

江豐電子：半導體設備零部件成第二大業(yè)務，同比營收增長55.53%

作為濺射靶材的主要供應商之一，江豐電子憑借其在半導體材料市場積累的經驗，開辟了半導體設備零部件這一第二成長曲線，來自客戶的主要需求包括制造半導體設備所需的零部件，以及維護替換所需的零部件。從其2024年年報來看，其2024年總營收達到36.05億元，同比增長38.57%，扣非凈利潤達3.04億元，同比增長94.92%。

先鋒精科：半導體設備關鍵零部件國產替代加速，營收同比增長103.72%  

等離子體刻蝕設備 / 中微半導體設備

先鋒精科聚焦于半導體刻蝕和薄膜沉積設備關鍵零部件的精密制造，也是國內少數已量產供應7納米及5納米國產刻蝕設備關鍵零部件的供應商。據其年度業(yè)績快報所示，得益2024年全球半導體行業(yè)資本開支步入上行周期，中國大陸半導體設備銷售額已率先實現(xiàn)上升，半導體設備關鍵零部件國產替代加速。其2024年總營收達到11.36億元，同比增長103.72%，扣非凈利潤達到2.17億元，同比增長172.29%。

除了這些提供一站式制造的上市企業(yè)外，還有不少精密制造企業(yè)也都紛紛參與到半導體設備零部件的加工生產中來，比如托倫斯精密制造、德瑪克精工、金智捷、兆恒機械、東匯精密機電、志橙半導體、傳晨精密等。

半導體設備精密零部件 / 金智捷

畢竟在各種半導體精密零部件的所占市場份額中，金屬工藝件、金屬結構件和非金屬結構件等機械類零部件的占比最高，不少精密制造企業(yè)在現(xiàn)有的加工實力下，也能入局腔體、勻氣盤、托盤、冷卻板、靜電卡盤、陶瓷件等零部件的生產制造。從國產替代的角度來看，這一市場還有不少訂單等待精密制造企業(yè)發(fā)掘，但在此之前，也必須要估量一下自己的加工實力。

02      加工設備投入同樣重要  

半導體零部件一般都是多品種、加工精度要求高的產品，對生產這些零部件的原材料及加工裝備要求高并且價格昂貴。此外，由于我國工業(yè)受長期形成的“重主機、輕配套”的思想影響，對零部件上下游配套領域的投入力度嚴重不足，導致我國在零部件的原材料和生產裝備上就與國外拉開差距。我國半導體金屬零部件加工產線在加工精度、加工穩(wěn)定性、幾何靈活度等方面都落后于國外。

不過隨著從2020年開始，中國加大對半導體本土制造的投入，連續(xù)多年國內半導體設備訂單節(jié)節(jié)攀升，2024-2025年更是迎來了國外芯片原廠紛紛來國內部署半導體產能，半導體設備需求再創(chuàng)新高，催生了更多用于半導體零部件加工的高端機床訂單。

察覺到這一趨勢，越來越多的機床廠商開始推出針對半導體領域加工的專用機種，或是展示相關的應用案例。比如通快針對晶圓切割、鉆孔推出的激光切割機，山崎馬扎克、兄弟機床、大隈推出針對真空腔體、傳動元件制造的五軸復合加工機床，牧野、三菱針對半導體封裝模具加工推出的電火花加工機等等。面對半導體精密零部件備高精密性、高潔凈度、超強抗腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點，精密加工設備和特種表面處理設備的投入可以說是必不可少。

FJV-60/80 FSW / 山崎馬扎克

以山崎馬扎克的FJV-60/80 FSW機床為例，就創(chuàng)新性地將高精度加工中心和摩擦攪拌焊結合在一起，不需要添加加工材料以外的焊材也能實現(xiàn)焊接。在半導體設備冷卻板的加工過程中，這款2020年發(fā)布的機床已經成了不少零部件企業(yè)的主力設備。

JDHGMG600 / 北京精雕

針對半導體設備中一些脆性材料零部件加工的場景，也有不少廠商推出了解決方案。比如在剛結束不久的2025 ITES深圳工業(yè)展上，北京精雕就展示了其JDHGMG600三軸高速磨削中心加工的噴淋盤工件；發(fā)那科也帶來了基于ROBODRILL加工中心打造的氧化鋯晶圓吸盤高效加工方案展示。

ROBODRILL小型加工中心 / 發(fā)那科

此外，針對半導體設備零部件中的不銹鋼等材料，牧野也帶來了DA500這一高性能5軸立式加工中心方案，顯著減少各種非切削時間，包括主軸加速、定位、換刀、刀具破損檢測以及托盤更換時間，從而提升了整體加工效率。

2025 ITES深圳工業(yè)展現(xiàn)場圖  

半導體行業(yè)作為ITES深圳工業(yè)展持續(xù)關注的高端制造行業(yè)，每年都會攜展商帶來針對半導體及半導體制造非標設備加工的高端裝備和自動化解決方案，今年也吸引了華星光電、比亞迪半導體、中微半導體、先進半導體設備、大族半導體裝備等企業(yè)赴展參觀。

2026 ITES深圳工業(yè)展將于明年3月31日至4月3日盛大啟幕，歡迎更多半導體產業(yè)鏈上下游企業(yè)來現(xiàn)場尋找加速產能擴張的最優(yōu)解，也歡迎更多高端裝備企業(yè)攜對應行業(yè)的解決方案亮相！

（ITES深圳工業(yè)展）

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